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龙图腾网获悉东莞平晶微电子科技有限公司申请的专利一种自动光学检测方法、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119534477B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411610209.X，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种自动光学检测方法、设备及存储介质是由瞿勇铣;龙立俊;葛柱;吴金铭;吴小红;翟元彬;陈家恒设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种自动光学检测方法、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种自动光学检测方法、设备及存储介质，该方法包括：在第一光源的照射下对晶圆基片采集原始俯照图像数据；依次在多个第二光源的照射下对晶圆基片采集多帧侧照图像数据；依据多帧侧照图像数据调整原始俯照图像数据的亮度，得到目标俯照图像数据；加载预置的缺陷分类网络；将目标俯照图像数据输入第一特征提取结构中提取多级第一目标缺陷特征；将多帧侧照图像数据输入第二特征提取结构中联合提取第二目标缺陷特征；将多级第一目标缺陷特征与第二目标缺陷特征输入特征融合结构中融合为第三目标缺陷特征；将第三目标缺陷特征分别输入多个分类头结构中划分晶圆基片存在的物理缺陷的类型。提高对晶圆基片检测缺陷的精确度。

本发明授权一种自动光学检测方法、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种自动光学检测方法，其特征在于，包括：在第一光源的照射下对晶圆基片采集原始俯照图像数据；所述第一光源照射的方向与所述晶圆基片之间形成的夹角为直角；依次在多个第二光源的照射下对晶圆基片采集多帧侧照图像数据；各个所述第二光源照射的方向与所述晶圆基片之间形成的夹角均为锐角；依据多帧所述侧照图像数据调整所述原始俯照图像数据的亮度，得到目标俯照图像数据；加载预置的缺陷分类网络；所述缺陷分类网络包括第一特征提取结构、第二特征提取结构、特征融合结构与多个分类头结构；将所述目标俯照图像数据输入所述第一特征提取结构中提取表征是否存在物理缺陷的多级第一目标缺陷特征；将多帧所述侧照图像数据输入所述第二特征提取结构中联合提取表征是否存在物理缺陷的第二目标缺陷特征；将多级所述第一目标缺陷特征与所述第二目标缺陷特征输入所述特征融合结构中融合为第三目标缺陷特征；将所述第三目标缺陷特征分别输入多个所述分类头结构中划分所述晶圆基片存在的物理缺陷的类型；其中，所述第一特征提取结构包括第一俯照卷积块、第二俯照卷积块与第三俯照卷积块；多级所述第一目标缺陷特征包括第一俯照缺陷特征、第二俯照缺陷特征与第三俯照缺陷特征；所述将所述目标俯照图像数据输入所述第一特征提取结构中提取表征是否存在物理缺陷的多级第一目标缺陷特征，包括：将所述目标俯照图像数据输入所述第一俯照卷积块中、在自注意机制下执行卷积操作，得到表征是否存在物理缺陷的第一俯照缺陷特征；将所述第一俯照缺陷特征输入所述第二俯照卷积块中、在自注意机制下执行卷积操作，得到表征是否存在物理缺陷的第二俯照缺陷特征；将所述第二俯照缺陷特征输入所述第三俯照卷积块中、在自注意机制下执行卷积操作，得到表征是否存在物理缺陷的第三俯照缺陷特征；所述第二特征提取结构包括多个侧照支路卷积块、侧照主干卷积块；所述将多帧所述侧照图像数据输入所述第二特征提取结构中联合提取表征是否存在物理缺陷的第二目标缺陷特征，包括：确定多帧所述侧照图像数据与多个所述侧照支路卷积块之间的对应关系；按照所述对应关系将所述侧照图像数据输入所述侧照支路卷积块中执行卷积操作，得到侧照支路缺陷特征；将多个所述侧照支路缺陷特征融合为侧照主干缺陷特征；将所述侧照主干缺陷特征输入所述侧照主干卷积块中执行卷积操作，得到表征是否存在物理缺陷的第二目标缺陷特征。

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