合肥中科岛晶科技有限公司李山获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥中科岛晶科技有限公司申请的专利一种高良率晶圆喷砂载具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222920332U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422121303.0，技术领域涉及：B24C9/00；该实用新型一种高良率晶圆喷砂载具是由李山;陈池来;徐椿景;刘友江设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高良率晶圆喷砂载具在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种高良率晶圆喷砂载具，包括夹具和安装在夹具上的晶圆固定板；晶圆固定板通过临时键合技术连接晶圆；晶圆表面设置有耐喷砂掩膜板。本实用新型通过设置带有卡槽的夹具，能够在晶圆通过临时键合技术固定在晶圆固定板上后，将装配有晶圆的晶圆固定板快速装夹在带有卡槽的夹具上。通过采用高平整、低表面粗糙度材质制作晶圆固定板，将晶圆固定在表面光滑、无毛刺的晶圆固定板上，在晶圆安装到晶圆固定板的过程中，能够避免对晶圆造成损伤。通过采用临时键合技术连接晶圆和晶圆固定板，在加工完成后解键合工艺，使晶圆无划痕脱落。本实用新型所述的高良率晶圆喷砂载具，具有结构简单、成本低，且能大大提高晶圆良率。
本实用新型一种高良率晶圆喷砂载具在权利要求书中公布了：1.一种高良率晶圆喷砂载具，其特征在于，该载具包括：夹具和可拆卸安装在所述夹具上的晶圆固定板（3）；所述晶圆固定板（3）通过临时键合技术连接有晶圆（6）；所述晶圆（6）表面设置有掩膜板（1）。
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