拉普拉斯新能源科技股份有限公司严祥银获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222923216U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422064086.6，技术领域涉及：C23C14/28；该实用新型沉积设备是由严祥银;黄小琳;田政权;张武设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积设备在说明书摘要公布了：本申请涉及光伏和半导体技术领域，尤其涉及一种沉积设备，解决了沉积设备无法对腔体的内壁进行镀膜的问题。该沉积设备被配置为对腔体的内壁进行镀膜，内壁围合形成腔室，腔体具有连通腔室与外界的至少一个开口。该沉积设备包括至少一个密封件、至少一个靶台和至少一个激光发射组件。密封件用于密封开口，以使腔室形成密闭腔室。靶台用于承载靶材，靶台能够放入腔室。激光发射组件向靶材发出激光，使靶材生成等离子羽辉，等离子羽辉能够沉积于腔体的内壁，以对腔体的内壁进行镀膜。
本实用新型沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种沉积设备，其特征在于，被配置为对腔体的内壁进行膜层沉积，所述内壁围合形成腔室，所述腔体具有连通所述腔室与外界的至少一个开口；其中，所述沉积设备包括：至少一个密封件，所述密封件被配置为密封所述开口，以使所述腔室形成密闭腔室；至少一个靶台，被配置为承载靶材，所述靶台能够放入所述腔室；至少一个激光发射组件，被配置向所述靶材发出激光，使所述靶材生成等离子羽辉，所述等离子羽辉能够沉积于所述腔体的内壁。
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