乐金显示光电科技(中国)有限公司周向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222923231U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422057968.X，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型化学气相沉积设备是由周向阳设计研发完成，并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学气相沉积设备，属于半导体制造技术领域。化学气相沉积设备包括工艺腔室，具有反应腔，工艺腔室的顶壁上设置有进气接口，进气接口与反应腔连通；等离子体源生成装置，设置于工艺腔室的顶壁上；第一连接管道，第一连接管道的一端与等离子体源生成装置连通，第一连接管道的另一端与进气接口连通；第二连接管道，第二连接管道的一端与等离子体源生成装置连通，第二连接管道的另一端与工艺腔室的侧壁连接并与反应腔连通；磁场发生装置，设置于工艺腔室外面的底部，用于产生沿第一方向延伸的磁感线。本实用新型能够彻底清洁腔室内部，提高清洁效率和腔室的洁净度。
本实用新型化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.化学气相沉积设备，其特征在于，包括：工艺腔室，具有反应腔，所述工艺腔室的顶壁上设置有进气接口，所述进气接口与所述反应腔连通；等离子体源生成装置，设置于所述工艺腔室的顶壁上；第一连接管道，所述第一连接管道的一端与所述等离子体源生成装置连通，所述第一连接管道的另一端与所述进气接口连通；第二连接管道，所述第二连接管道的一端与所述等离子体源生成装置连通，所述第二连接管道的另一端与所述工艺腔室的侧壁连接并与所述反应腔连通；磁场发生装置，设置于所述工艺腔室外面的底部，用于产生沿第一方向延伸的磁感线。
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