三一硅能(株洲)有限公司邹泽玉获国家专利权
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龙图腾网获悉三一硅能(株洲)有限公司申请的专利调节装置和PECVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222923237U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422030786.3，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型调节装置和PECVD设备是由邹泽玉设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本调节装置和PECVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光伏技术领域，提供一种调节装置。调节装置包括下极板加热组件、多个调节组件和多个传输组件，下极板加热组件内部具有腔体，腔体用于容纳载板；多个传输组件间隔设于腔体的侧壁，传输组件用于输送载板；多个调节组件间隔设于腔体的侧壁，且与传输组件交错布置，调节组件用以调节载板高度。本实用新型解决了现有技术中的PECVD设备的顶升系统在调节工艺间距时，需要使用可靠性要求较高的波纹管，进而造成成本较大的缺陷，实现一种可以避免使用波纹管的调节装置，进而降低了设备的工艺成本。
本实用新型调节装置和PECVD设备在权利要求书中公布了：1.一种调节装置，其特征在于，包括：下极板加热组件，内部具有腔体，所述腔体用于容纳载板；多个传输组件，间隔设于所述腔体的侧壁，所述传输组件用于输送所述载板；多个调节组件，间隔设于所述腔体的侧壁，且与所述传输组件交错布置，所述调节组件用以调节所述载板高度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三一硅能(株洲)有限公司，其通讯地址为：412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道铜霞路255号隆信国际1号楼518-50室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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