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合肥升滕半导体技术有限公司王永东获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥升滕半导体技术有限公司申请的专利一种半导体刻蚀腔体Liner阳极氧化用辅助治具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222923286U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422031681.X,技术领域涉及:C25D11/02;该实用新型一种半导体刻蚀腔体Liner阳极氧化用辅助治具是由王永东;王文雷;王庆全;李正设计研发完成,并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体刻蚀腔体Liner阳极氧化用辅助治具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体刻蚀腔体Liner阳极氧化用辅助治具,属于半导体技术领域,包括待镀物体以及用于对待镀物体进行支撑的第一支撑组件,还包括:辅助组件,用于提高电子转移速率;第二支撑组件,用于对辅助组件进行支撑;管道,用于对位于待镀物体内的溶液进行搅拌;所述辅助组件包括第一筒体、十字支撑架、杆体、通孔以及,所述十字支撑架固定连接在第一筒体上端,所述杆体安装在第一筒体上,所述杆体安装在第二支撑组件上,所述第一筒体位于待镀物体内,所述第一筒体上开设有用于促使第一筒体与待镀物体贯通的通孔;本实用新型能够在空气搅拌和辅助阴极的作用下,促使电子迅速转移,得到充分的反应,这样膜厚、膜质与腔体外表面相差无异。

本实用新型一种半导体刻蚀腔体Liner阳极氧化用辅助治具在权利要求书中公布了:1.一种半导体刻蚀腔体Liner阳极氧化用辅助治具,包括待镀物体1以及用于对待镀物体1进行支撑的第一支撑组件3,其特征在于,还包括:辅助组件2,通过第二支撑组件4安装在第一支撑组件3上,用于提高电子转移速率;第二支撑组件4,安装在第一支撑组件3上,用于对辅助组件2进行支撑;管道,可拆卸安装在辅助组件2上且其端部延伸至辅助组件2内,用于对位于待镀物体1内的溶液进行搅拌;其中,所述辅助组件2包括第一筒体201、十字支撑架202、杆体203、通孔204以及205,所述十字支撑架202固定连接在第一筒体201上端,所述杆体203安装在第一筒体201上,所述杆体203安装在第二支撑组件4上,所述第一筒体201位于待镀物体1内,所述第一筒体201上开设有用于促使第一筒体201与待镀物体1贯通的通孔204。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥升滕半导体技术有限公司,其通讯地址为:230011 安徽省合肥市新站区新蚌埠路与谷河路交口佳海工业城G区33号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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