株洲三一硅能技术有限公司陈俊获国家专利权
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龙图腾网获悉株洲三一硅能技术有限公司申请的专利单晶炉的抽真空系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222923317U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422033119.0，技术领域涉及：C30B15/00；该实用新型单晶炉的抽真空系统是由陈俊;周刚;田山恒设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本单晶炉的抽真空系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空系统技术领域，提供一种单晶炉的抽真空系统，包括单晶炉和泵站，单晶炉设置有至少一组，每组单晶炉对应设置一个泵站；泵站包括第一抽真空装置、第二抽真空装置和第一控制阀组；第二抽真空装置的性能指标优于第一抽真空装置的性能指标；第一控制阀组适于控制第一抽真空装置与任意一个单晶炉之间的通断状态，且适于控制第二抽真空装置与任意一个单晶炉之间的通断状态。如此设置，一组单晶炉共用一个泵站，减少了真空泵的设置数量，减少占用空间，降低了成本。且根据不同的工况按需选用第一抽真空装置和第二抽真空装置中的一者，避免了高配低用导致的浪费问题。
本实用新型单晶炉的抽真空系统在权利要求书中公布了：1.一种单晶炉的抽真空系统，其特征在于，包括单晶炉（1）和泵站（2），所述单晶炉（1）设置有至少一组，每组所述单晶炉（1）对应设置一个所述泵站（2）；所述泵站（2）包括第一抽真空装置、第二抽真空装置和第一控制阀组（3）；所述第二抽真空装置的性能指标优于所述第一抽真空装置的性能指标；所述第一控制阀组（3）具有第一出气口、第二出气口和多个进气口，一组所述单晶炉（1）中的每一者对应连接一个所述进气口，所述第一出气口与所述第一抽真空装置的抽气口相连接，所述第二出气口与所述第二抽真空装置的抽气口相连接，所述第一控制阀组（3）适于控制所述第一出气口与任意一个所述进气口之间的通断状态，且适于控制所述第二出气口与任意一个所述进气口之间的通断状态。
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