瑞鼎智造(武汉)科技有限公司万兵获国家专利权
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龙图腾网获悉瑞鼎智造(武汉)科技有限公司申请的专利一种大视场白光干涉检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222926153U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422035457.8,技术领域涉及:G01B9/02;该实用新型一种大视场白光干涉检测设备是由万兵;李荣;冯一洋设计研发完成,并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大视场白光干涉检测设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种大视场白光干涉检测设备,包括减震台和位于减震台之上的测试组件,测试组件包括龙门结构大理石平台、X轴运动模组、样品台、Y轴移动模组、Z轴移动模组、测试镜头组、白光和绿光LED双光源;该测试镜头组采用垂直扫描干涉测量模式,同时该测试镜头组结合白光和绿光LED双光源,通过白光在被测样品表面产生干涉条纹,来检测样品表面的形貌特征,从而进行缺陷检测,采集的形貌图片无需额外处理,具有测量范围大,分辨率高和成本低的特点。
本实用新型一种大视场白光干涉检测设备在权利要求书中公布了:1.一种大视场白光干涉检测设备,其特征在于,包括减震台1和位于所述减震台1之上的测试组件,所述测试组件包括龙门结构大理石平台3、X轴运动模组4、样品台5、Y轴移动模组6、Z轴移动模组7、测试镜头组8、白光和绿光LED双光源10;所述龙门结构大理石平台3固定在所述减震台1表面,所述X轴运动模组4和所述Y轴移动模组6固定在所述龙门结构大理石平台3上,所述样品台5设置在所述X轴运动模组4上,且所述样品台5可沿在所述X轴运动模组4的导轨面滑动;所述Z轴移动模组7设置在所述Y轴移动模组6上,且所述Z轴移动模组7可沿在所述Y轴移动模组6的导轨面滑动;所述测试镜头组8固定在所述Z轴移动模组7上,所述白光和绿光LED双光源10连接在所述测试镜头组8侧面上,所述测试镜头组8朝向所述样品台5设置有多个干涉光学镜头9。
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