乐金显示光电科技(中国)有限公司周向阳获国家专利权
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龙图腾网获悉乐金显示光电科技(中国)有限公司申请的专利化学气相沉积装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222923230U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422027065.7,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型化学气相沉积装置是由周向阳设计研发完成,并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学气相沉积装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及显示装置制造技术领域,公开一种化学气相沉积装置,具有反应腔室,化学气相沉积装置包括:下电极和多个支撑销,下电极安装于反应腔室底部,支撑销穿设于下电极,下电极可沿支撑销长度方向运动;矫正组件,反应腔室内对应玻璃基板每个侧面分别设有矫正组件,矫正组件包括传动机构和滚动件,传动机构与下电极连接,传动机构通过连接件与滚动件连接;下电极升降时,下电极驱动传动机构带动连接件和滚动件在第一姿态和第二姿态之间进行切换,滚动件位于第一姿态时,滚动件与玻璃基板侧面抵接,滚动件位于第二姿态时,滚动件与玻璃基板分离。本实用新型可通过滚动件与玻璃基板侧面滚动抵接实现对玻璃基板进行矫正,有效提高沉积膜品质。
本实用新型化学气相沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种化学气相沉积装置,具有反应腔室,其特征在于,所述化学气相沉积装置还包括:下电极和多个用于支撑玻璃基板的支撑销,所述下电极活动安装于所述反应腔室的底部,所述支撑销穿设于所述下电极,所述下电极可沿所述支撑销的长度方向运动;矫正组件,所述反应腔室内对应所述玻璃基板的每个侧面分别设有所述矫正组件,所述矫正组件包括传动机构、滚动件和连接件,所述传动机构与所述下电极固定连接,且所述传动机构通过所述连接件与所述滚动件连接;所述下电极上升或下降时,所述下电极可驱动所述传动机构带动所述连接件和所述滚动件在第一姿态和第二姿态之间进行切换,所述连接件和所述滚动件位于所述第一姿态时,所述滚动件与所述玻璃基板的侧面抵接,所述连接件和所述滚动件位于所述第二姿态时,所述滚动件与所述玻璃基板分离。
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