芯恩(青岛)集成电路有限公司李兵获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种转移结构及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222923322U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422029334.3，技术领域涉及：C30B25/02；该实用新型一种转移结构及半导体工艺设备是由李兵;邢超;王伟设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种转移结构及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种转移结构及半导体工艺设备，转移结构包括：转移臂、沿第一方向间隔叠放的至少两个支撑臂和伸缩结构；转移臂与至少一个第一支撑臂通过伸缩结构可伸缩连接，未与转移臂通过伸缩结构可伸缩连接的第二支撑臂与转移臂之间固定连接。本实用新型通过与转移臂可伸缩连接的第一支撑臂，进入不同工艺温度的腔室用不同支撑臂，避免进过高温腔室的支撑臂转移晶圆进入低温腔室时影响低温腔室的工艺而导致加工后的晶圆均匀性差；同时相邻支撑臂之间设置隔热结构，降低支撑臂温度的相互影响；另外伸缩结构与支撑臂通过可拆卸的卡合结构连接，方便支撑臂更换维修；最后设置收缩腔，使第一支撑臂收缩时被隔热，减少其他支撑臂的温度影响。
本实用新型一种转移结构及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种转移结构，其特征在于，所述转移结构包括：转移臂、至少两个支撑臂和伸缩结构；所有所述支撑臂沿第一方向间隔地叠放，所述支撑臂用于放置待转移物；第二方向与所述第一方向垂直，所述转移臂与所述支撑臂均沿所述第二方向连接，所述转移臂与至少一个所述支撑臂之间通过所述伸缩结构可伸缩连接；当存在未与所述转移臂通过所述伸缩结构可伸缩连接的所述支撑臂时，未与所述转移臂通过所述伸缩结构可伸缩连接的所述支撑臂与所述转移臂之间固定连接；与所述转移臂可伸缩连接的所述支撑臂为第一支撑臂，与所述转移臂固定连接的所述支撑臂为第二支撑臂。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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