株洲三一硅能技术有限公司杨莎获国家专利权
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龙图腾网获悉株洲三一硅能技术有限公司申请的专利炉管进气组件及管式PECVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222923236U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422006056.X，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型炉管进气组件及管式PECVD设备是由杨莎;陈晖;熊金顶设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本炉管进气组件及管式PECVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光伏制造技术领域，提供一种炉管进气组件及管式PECVD设备。一种炉管进气组件包括连接部件、分流部件和导管部件。连接部件用于与炉体连接；分流部件设于连接部件，分流部件用于输送反应气体，分流部件具有相互连通的入气口和第一出气口；导管部件包括外管和内管，外管设于内管外部，内管与第一出气口连通，外管与冷却循环部件连通，用于对内管进行冷却。本实用新型解决现了有技术中的炉管进气组件在输送如硅烷等反应气体过程中容易导致气体被分解的缺陷，实现一种能够在如硅烷反应气体输送的过程中对其进行冷却从而避免其被分解的炉管进气组件。
本实用新型炉管进气组件及管式PECVD设备在权利要求书中公布了：1.一种炉管进气组件，其特征在于，包括：连接部件，用于与炉体连接；分流部件，设于所述连接部件，所述分流部件用于输送反应气体，所述分流部件具有相互连通的入气口和第一出气口；导管部件，包括外管和内管，所述外管套设于所述内管外部，所述内管与所述第一出气口连通，所述外管与冷却循环部件连通，用于对所述内管进行冷却。
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