苏州优晶半导体科技股份有限公司蔡金荣获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉苏州优晶半导体科技股份有限公司申请的专利一种多坩埚生长设备及使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118621434B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411118590.8,技术领域涉及:C30B23/00;该发明授权一种多坩埚生长设备及使用方法是由蔡金荣;陈建明;赵文超;张江涛;杨洪雨设计研发完成,并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多坩埚生长设备及使用方法在说明书摘要公布了:本发明的实施例提供了一种多坩埚生长设备及使用方法,涉及晶体生长技术领域。该多坩埚生长设备包括至少两个坩埚、隔热托板以及旋转装置,隔热托板上设有至少两个安装孔,安装孔的数量和坩埚的数量一一对应,每个安装孔内均安装有坩埚,旋转装置和隔热托板连接,用于带动隔热托板旋转,从而同时带动至少两个坩埚旋转。相比于现有技术中坩埚吊装的连接方式而言,将坩埚安装在隔热托板上能够避免出现坩埚掉落的现象,而且现有技术中坩埚底部支撑的连接方式会导致坩埚底部始终有一个位置的受热不佳,从而影响晶体生长稳定性,将坩埚安装在隔热托板上使得坩埚的底部能够均匀受热,有利于坩埚的温度控制,确保晶体生长稳定性。
本发明授权一种多坩埚生长设备及使用方法在权利要求书中公布了:1.一种多坩埚生长设备,其特征在于,包括:至少两个坩埚(10);隔热托板(20),所述隔热托板(20)上设有至少两个安装孔,所述安装孔的数量和所述坩埚(10)的数量一一对应,每个所述安装孔内均安装有所述坩埚(10),所述隔热托板(20)能够隔绝所述坩埚(10)的上部和下部,减少高温加热区域的热量流失;旋转装置(30),所述旋转装置(30)和所述隔热托板(20)连接,用于带动所述隔热托板(20)旋转,从而同时带动至少两个所述坩埚(10)旋转;所述坩埚(10)的外部设有吊耳(40),所述吊耳(40)沿所述坩埚(10)的圆周方向设置,所述吊耳(40)和所述隔热托板(20)的表面抵接,使得所述坩埚(10)安装于所述安装孔内,并承托在所述隔热托板(20)上;所述吊耳(40)的底面设有凸起(50)或凹槽(60),所述隔热托板(20)的表面设有凹槽(60)或凸起(50),所述凸起(50)用于和所述凹槽(60)配合定位,从而防止所述坩埚(10)跟随所述隔热托板(20)旋转过程中发生自转;所述多坩埚生长设备(1000)还包括第一加热器(70),所述第一加热器(70)设置于至少两个所述坩埚(10)的底部,用于同时对至少两个所述坩埚(10)的底部加热;所述多坩埚生长设备(1000)还包括第二加热器(80),所述第二加热器(80)设置于至少两个所述坩埚(10)的顶部,用于同时对至少两个所述坩埚(10)的顶部加热;所述吊耳(40)的底面设有凸起(50),所述隔热托板(20)的表面设有凹槽(60),所述凸起(50)的底部设置有调平球(51),所述调平球(51)用于调整所述坩埚(10)的位置;所述凸起(50)和所述凹槽(60)均为椭圆结构,所述凸起(50)的长轴和短轴均小于所述凹槽(60)的长轴和短轴。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州优晶半导体科技股份有限公司,其通讯地址为:215300 江苏省苏州市昆山市开发区杜鹃路555号A6#厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。