福建华佳彩有限公司林志敏获国家专利权
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龙图腾网获悉福建华佳彩有限公司申请的专利一种液晶面板干蚀刻机防反喷结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222927413U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421965338.6，技术领域涉及：H01J37/02；该实用新型一种液晶面板干蚀刻机防反喷结构是由林志敏;杨朝胜;董浩;闫俊鹏;陈玉炉;陈林设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种液晶面板干蚀刻机防反喷结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种液晶面板干蚀刻机防反喷结构，包括腔室，所述腔室的角落设置有分子泵的排气通道，所述排气通道上设置有滤网，所述排气通道在滤网的上方固定连接有挡板，所述挡板上设置有未正对于滤网上方的通气口。该液晶面板干蚀刻机防反喷结构通过在滤网的上方固定连接挡板，且挡板上设置有未正对于滤网上方的通气口，减少因APC关闭瞬间造成的反涌气流直接反喷到基板上，避免因蚀刻前微粒子掉落在基板上造成蚀刻后的蚀刻残，能够提高产品良率及减少保养频率。
本实用新型一种液晶面板干蚀刻机防反喷结构在权利要求书中公布了：1.一种液晶面板干蚀刻机防反喷结构，包括腔室，所述腔室的角落设置有分子泵的排气通道，所述排气通道上设置有滤网，其特征在于：所述排气通道在滤网的上方固定连接有挡板，所述挡板上设置有未正对于滤网上方的通气口。
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