芯恩(青岛)集成电路有限公司窦智强获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种晶圆传输检测一体化装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222927424U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421970365.2，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种晶圆传输检测一体化装置是由窦智强;张宇;李大川设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传输检测一体化装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆传输检测一体化装置，所述装置包括晶圆传输单元及光学检测组件，其中，晶圆传输单元用于在半导体机台内外转移晶圆，光学检测组件设置于晶圆传输单元上以对晶圆执行预设工艺前后的形貌信息进行检测，光学检测组件包括光学检测组件，光学检测组件包括光源与光检测器，光源发出的检测光束到达晶圆的表面后被反射并由光检测器采集。所述装置通过将对晶圆表面形貌进行采集的光学检测单元与用于实现晶圆转移的晶圆传输单元整合为一体，在晶圆传输单元固定晶圆之前之后，利用光学检测单元对晶圆执行工艺后的形貌进行采集，而后通过对采集的信息进行处理分析后即能判断出晶圆是否发生破片。装置整体结构简单、成本低廉且操作便捷。
本实用新型一种晶圆传输检测一体化装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输检测一体化装置，其特征在于，包括：晶圆传输单元，用于在半导体机台内外转移晶圆；光学检测单元，设置于所述晶圆传输单元上以对所述晶圆执行预设工艺前后的形貌信息进行检测，所述光学检测单元包括光学检测组件，所述光学检测组件包括光源与光检测器，所述光源发出的检测光束到达所述晶圆的表面后被反射并由所述光检测器采集。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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