江苏鲁汶仪器股份有限公司刘星楠获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222927437U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421969837.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种检测装置是由刘星楠;石小丽;裘晓强;庄仕伟;陶铮;许开东设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种检测装置，包括：传感器模块，包括图像传感器和距离传感器，用于检测晶圆外周与承载台上的聚焦环的间距及晶圆的边缘位置与距离传感器的间距；处理器模块，与传感器模块通信连接以调节各个传感器的开闭，并接收各个传感器的检测数据以判断晶圆的校准状态；供电模块，包括间隔设置的感应线圈和发射线圈，发射线圈连通交流电源，感应线圈在交流电源启动后产生感应电流，感应线圈导通连接有电容和整流电路，整流电路用于将交流电转化为直流电，感应线圈通过集成电路板与传感器模块和处理器模块导通连接。本实用新型通过无线供电方式降低电池对检测装置的水平度影响，结合不同种类的传感器实现晶圆的有效校准检测。
本实用新型一种检测装置在权利要求书中公布了：1.一种检测装置，其特征在于，包括：传感器模块，至少包括图像传感器和距离传感器，所述图像传感器用于检测晶圆外周与承载台上的聚焦环的间距，所述距离传感器用于检测所述晶圆的边缘位置与所述距离传感器的间距；处理器模块，与所述传感器模块通信连接以调节所述传感器模块中各个传感器的开闭，并接收各个传感器的检测数据以判断所述晶圆的校准状态；供电模块，包括间隔设置的感应线圈和发射线圈，所述发射线圈连通有交流电源，所述感应线圈在所述交流电源启动后产生感应电流，且所述感应线圈则导通连接有电容和整流电路，所述整流电路用于将交流电转化为直流电，所述感应线圈通过集成电路板与所述传感器模块和所述处理器模块导通连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏鲁汶仪器股份有限公司，其通讯地址为：221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号