常熟市兆恒众力精密机械有限公司罗中平获国家专利权
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龙图腾网获悉常熟市兆恒众力精密机械有限公司申请的专利一种晶圆吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222927465U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421968035.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆吸附装置是由罗中平;王建飞设计研发完成，并于2024-08-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆吸附装置，涉及晶圆固定技术领域，包括固定板和负压真空泵；固定板：顶面中部固定有连接座，所述连接座的内部转动连接有调节杆，所述连接座的左侧面固定有电机，所述电机的输出轴与调节杆的左侧端连接，所述调节杆的顶端与安装板底面的中部连接，所述负压真空泵有两个且分别设在固定板顶面的两侧，所述负压真空泵的进气管与吸气环的出气口连接，所述吸气环安装在固定板的底面，该晶圆吸附装置，采用工业相机对吸附的晶圆规格进行检测，从而实时的调节吸盘的位置，并配合万向接头来防止吸盘固定不牢出现漏气的问题，而设置的防护托架则可以防止吸盘漏气造成晶圆掉落损坏。
本实用新型一种晶圆吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸附装置，其特征在于：包括固定板1和负压真空泵4；固定板1：顶面中部固定有连接座7，所述连接座7的内部转动连接有调节杆9，所述连接座7的左侧面固定有电机8，所述电机8的输出轴与调节杆9的左侧端连接，所述调节杆9的顶端与安装板10底面的中部连接，所述负压真空泵4有两个且分别设在固定板1顶面的两侧，所述负压真空泵4的进气管与吸气环5的出气口连接，所述吸气环5安装在固定板1的底面，所述吸气环5的进气管与吸盘6的出气口连接，所述固定板1的侧面设有调节单元2；其中，还包括控制器12，所述控制器12设在连接座7的右侧面，所述负压真空泵4和电机8的输入端电连接控制器12的输出端，所述控制器12的输入端电连接外部电源的输出端。
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