上海序伦机电设备有限公司顾益民获国家专利权
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龙图腾网获悉上海序伦机电设备有限公司申请的专利一种等离子去胶机的传输机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222927455U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421947055.9,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种等离子去胶机的传输机构是由顾益民;周慧设计研发完成,并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子去胶机的传输机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及等离子去胶机技术领域,且公开了一种等离子去胶机的传输机构,包括去胶机本体,所述去胶机本体的正面开设有去胶仓,所述去胶机本体的内部固定安装有两个同步电动推杆,所述电动推杆的固定连接有密封仓门,所述密封仓门的背面固定安装有两根导向杆。该等离子去胶机的传输机构,通过调节板、第一卡槽板、滑槽、支撑杆、第二卡槽板、紧固旋钮、刻度条、安装槽、弹簧和插块的配合设置,使用时根据晶圆的大小尺寸调节两根支撑杆之间的间距,进而在根据刻度条调节两块第二卡槽板在支撑杆上的高度,继而将晶圆插入卡槽板内的槽口内,从而便于放置不同尺寸的晶圆片,且有效的扩大去胶机的加工范围。
本实用新型一种等离子去胶机的传输机构在权利要求书中公布了:1.一种等离子去胶机的传输机构,包括去胶机本体(1),其特征在于:所述去胶机本体(1)的正面开设有去胶仓(2),所述去胶机本体(1)的内部固定安装有两个同步电动推杆(3),所述电动推杆(3)的固定连接有密封仓门(4),所述密封仓门(4)的背面固定安装有两根导向杆(5),所述导向杆(5)的一端固定安装有限位挡板(6),所述密封仓门(4)的背面位于两根导向杆(5)之间固定安装有齿轮盒(7),所述齿轮盒(7)的内部固定安装有驱动电机(8),所述驱动电机(8)的输出端花键连接有传动杆(9),所述传动杆(9)的一端固定安装有主动齿轮(10),所述主动齿轮(10)的表面啮合有从动齿轮(11),所述从动齿轮(11)的一端固定安装有螺纹杆(12),所述螺纹杆(12)远离齿轮盒(7)的一端与限位挡板(6)转动连接,所述螺纹杆(12)的表面螺纹连接有两块调节板(13),两块所述调节板(13)之间通过第一卡槽板(14)固定连接,所述调节板(13)的内部开设有滑槽(15),所述滑槽(15)的内部滑动连接有支撑杆(16),所述支撑杆(16)的表面滑动连接有第二卡槽板(17)。
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