达迩科技(成都)有限公司;上海凯虹科技电子有限公司;上海凯虹电子有限公司张朝军获国家专利权
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龙图腾网获悉达迩科技(成都)有限公司;上海凯虹科技电子有限公司;上海凯虹电子有限公司申请的专利一种基于湿法刻蚀工艺的晶圆承载治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222927446U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421937167.6，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种基于湿法刻蚀工艺的晶圆承载治具是由张朝军;曹立强设计研发完成，并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于湿法刻蚀工艺的晶圆承载治具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于湿法刻蚀工艺的晶圆承载治具，应用于半导体制备领域，包括：晶圆承载治具主体和治具压杆；晶圆承载治具主体的上轮廓，沿预设方向的两相对轮廓边上，对应设置有第一固定凹槽和第二固定凹槽；预设方向为沿晶圆承载治具主体内多个晶圆承载区的排列方向；治具压杆一端与第一固定凹槽铰接连接以形成转动副，转动副的转动轴与竖直方向存在夹角，且垂直于预设方向；第二固定凹槽用于与治具压杆卡接，以固定治具压杆。本实用新型中与治具压杆卡接连接的第二固定凹槽，无需考虑治具压杆在凹槽内沿预设方向活动，只需限制治具压杆不脱离凹槽即可，便于治具压杆拆装，通过设置转动副的转动轴与竖直方向存在夹角，提高了上下料效率。
本实用新型一种基于湿法刻蚀工艺的晶圆承载治具在权利要求书中公布了：1.一种基于湿法刻蚀工艺的晶圆承载治具，其特征在于，包括：晶圆承载治具主体和治具压杆；所述晶圆承载治具主体的上轮廓，沿预设方向的两相对轮廓边上，对应设置有第一固定凹槽和第二固定凹槽；所述预设方向为沿所述晶圆承载治具主体内多个晶圆承载区的排列方向；所述治具压杆一端与所述第一固定凹槽铰接连接以形成转动副，所述转动副的转动轴与竖直方向存在夹角，且垂直于所述预设方向；所述第二固定凹槽用于与所述治具压杆卡接，以固定所述治具压杆。
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