浙江埃纳检测技术有限公司王晨辉获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江埃纳检测技术有限公司申请的专利一种晶圆量测设备刹车保护系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222928304U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421953661.1,技术领域涉及:H02P25/00;该实用新型一种晶圆量测设备刹车保护系统是由王晨辉;张大为设计研发完成,并于2024-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆量测设备刹车保护系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆量测设备刹车保护系统,它涉及半导体技术领域。包括供电系统、断路器、伺服驱动器、伺服电机、刹车继电器、刹车复位继电器和刹车电源,供电系统通过断路器与伺服驱动器相连,伺服驱动器与伺服电机以及刹车继电器、刹车复位继电器相连,刹车继电器和刹车复位继电器均与刹车电源相连。本实用新型结构设计合理,通过刹车复位继电器实现手动将电机移至检维修位置,方便现场开展检维修工作,操作方便可靠,实用性强。
本实用新型一种晶圆量测设备刹车保护系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆量测设备刹车保护系统,其特征在于,包括供电系统1、断路器NFB13、伺服驱动器SD3、伺服电机SM3、刹车继电器BR1、刹车复位继电器BR2和刹车电源2,供电系统1通过断路器NFB13与伺服驱动器SD3相连,伺服驱动器SD3与伺服电机SM3以及刹车继电器BR1、刹车复位继电器BR2相连,刹车继电器BR1和刹车复位继电器BR2均与刹车电源2相连。
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