甬矽半导体(宁波)有限公司何正鸿获国家专利权
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龙图腾网获悉甬矽半导体(宁波)有限公司申请的专利电镀装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222923298U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421876058.8,技术领域涉及:C25D17/00;该实用新型电镀装置是由何正鸿;孙成富;陈坚;张成设计研发完成,并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本电镀装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种电镀装置,涉及电镀技术领域。该电镀装置包括底座和连接于底座一侧的震荡盘;底座朝向震荡盘的一侧凹设有容置槽,容置槽用于收容待电镀晶圆,震荡盘与底座之间具有间隙,电镀药液能够自间隙进入待电镀晶圆和震荡盘之间,且震荡盘朝向待电镀晶圆的一面设有旋转震荡机构。该电镀装置能够改善电镀缺陷,提高电镀的均匀性。
本实用新型电镀装置在权利要求书中公布了:1.一种电镀装置,其特征在于,包括底座和连接于所述底座一侧的震荡盘;所述底座朝向所述震荡盘的一侧凹设有容置槽,所述容置槽用于收容待电镀晶圆,所述震荡盘与所述底座之间具有间隙,电镀药液能够自所述间隙进入所述待电镀晶圆和所述震荡盘之间,且所述震荡盘朝向所述待电镀晶圆的一面设有旋转震荡机构。
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