郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种用于机台腔体的便捷式保护盖板获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222928640U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421885425.0,技术领域涉及:H05K5/02;该实用新型一种用于机台腔体的便捷式保护盖板是由吴泓明;钟佑生;陈志刚;林明政;孙楠;侯亚龙;刘亚勇设计研发完成,并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于机台腔体的便捷式保护盖板在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于机台腔体的便捷式保护盖板,包括底座、盖板本体以及快拆式连接机构;所述底座安装于机台腔体上或腔体周围,所述盖板本体通过所述快拆式连接机构可与所述底座快速连接或分离;所述盖板本体上设有观察窗、观察窗挡板,所述观察窗挡板可将所述观察窗遮挡或使所述观察窗外露。本申请通过对光学量测晶圆表面颗粒机台腔体盖板结构进行重新设计改良,可有效保护机台铝制基座原螺纹不受频繁拆卸螺丝造成的损坏,同时提升了维修拆卸安装便利性,且能够兼顾维修过程中观察机台腔体内组件运行状况的需求,对延长机台主体寿命有较大的实用价值和技术改进意义。
本实用新型一种用于机台腔体的便捷式保护盖板在权利要求书中公布了:1.一种用于机台腔体的便捷式保护盖板,其特征在于,包括底座、盖板本体以及快拆式连接机构;所述底座安装于机台腔体上或腔体周围,所述盖板本体通过所述快拆式连接机构可与所述底座快速连接或分离;所述盖板本体上设有观察窗、观察窗挡板,所述观察窗挡板可将所述观察窗遮挡或使所述观察窗外露。
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