上海大尘微影半导体科技有限公司王金坤获国家专利权
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龙图腾网获悉上海大尘微影半导体科技有限公司申请的专利一种获取超高真空的热气流烘烤系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222925854U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421843105.9，技术领域涉及：F26B5/04；该实用新型一种获取超高真空的热气流烘烤系统是由王金坤;冯径;高强;郑一鸣设计研发完成，并于2024-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种获取超高真空的热气流烘烤系统在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空获得技术领域，具体公开了一种获取超高真空的热气流烘烤系统，包括真空腔体、热气流烘烤系统以及真空获得系统，所述真空腔体内部设置有冲洗管道，真空腔体通过法兰接口与冲洗管道连接；所述热气流烘烤系统包括按照气体流向依次通过管路连接的气源钢瓶、减压阀、压力表、第一旋钮阀、纯化器、第二旋钮阀、加热器、风阀以及扩散器，其中所述扩散器的出气端通过管路与真空腔体的法兰接口连接；所述真空获得系统包括依次连接的蝶阀、分子泵、前级阀、皮拉尼规、罗茨泵组以及罗茨泵组上设置的粗抽阀，其中所述蝶阀与真空腔体的真空获取接口连接；所述真空腔体侧边设置有检测接口、气体分析接口、泄压接口以及排废口。
本实用新型一种获取超高真空的热气流烘烤系统在权利要求书中公布了：1.一种获取超高真空的热气流烘烤系统，其特征在于：包括真空腔体10、热气流烘烤系统以及真空获得系统，所述真空腔体10内部设置有冲洗管道15，真空腔体10通过法兰接口与冲洗管道15连接；所述热气流烘烤系统包括按照气体流向依次通过管路连接的气源钢瓶1、减压阀2、压力表3、第一旋钮阀4、纯化器5、第二旋钮阀6、加热器7、风阀8以及扩散器9，其中所述扩散器9的出气端通过管路与真空腔体10的法兰接口连接；所述真空获得系统包括依次连接的蝶阀11、分子泵12、前级阀13、皮拉尼规14和罗茨泵组20，其中所述蝶阀11与真空腔体10的真空获取接口连接；所述真空腔体10侧边设置有检测接口、气体分析接口、泄压接口以及排废口，所述检测接口上安装有真空规16，气体分析接口上安装有气体分析仪17，泄压接口上设置有泄压阀18，排废口上设置有排废阀19。
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