上海积塔半导体有限公司李徐俊获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种辅助治具及晶圆传输系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222927433U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421829742.0,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种辅助治具及晶圆传输系统是由李徐俊设计研发完成,并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种辅助治具及晶圆传输系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种辅助治具及晶圆传输系统,该辅助治具包括:上底板、下底板和角度调节结构;上底板上设置有固定结构和M个第一连接部件;固定结构设置在上底板的上表面;第一连接部件贯穿上底板;下底板上设置有X个第二连接部件;各第二连接部件贯穿下底板;各第二连接部件与各第一连接部件的位置对应;角度调节结构通过第一连接部件与第二连接部件固定在上底板与下底板之间。本实用新型的辅助治具的上底板上设置固定结构以固定晶圆载具;避免晶圆载具滑落造成晶圆损坏。在上底板和下底板之间设置角度调节结构,以调节上底板和下底板之间角度,使得晶圆载具倾斜在上底板上,以能够将晶圆直接转移到晶圆载具中,避免手指对晶圆背面造成污染。
本实用新型一种辅助治具及晶圆传输系统在权利要求书中公布了:1.一种辅助治具,其特征在于,所述辅助治具包括:上底板、下底板和角度调节结构;所述上底板上设置有固定结构和M个第一连接部件;所述固定结构设置在所述上底板的上表面;各第一连接部件均贯穿所述上底板;其中M为大于等于1的自然数;所述下底板上设置有X个第二连接部件;各第二连接部件贯穿所述下底板;各第二连接部件与各第一连接部件的位置对应;其中X为大于等于1的自然数;所述角度调节结构通过所述第一连接部件与所述第二连接部件固定在所述上底板与所述下底板之间。
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