芯恩(青岛)集成电路有限公司马钰辰获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利晶圆静电消除装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222928556U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421814896.2，技术领域涉及：H05F3/00；该实用新型晶圆静电消除装置是由马钰辰设计研发完成，并于2024-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆静电消除装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆静电消除装置，包括压电敏感元件、电压控制模块和电荷检测模块，其中，电压控制模块用于控制施加在压电敏感元件上的电压，电荷检测检测模块用于检测目标晶圆上的静电电荷，并在目标晶圆上的静电电荷被消除后控制电压控制模块断开施加在压电敏感元件上的电压，压电敏感元件根据施加于其上的电压产生弹性变形，且压电敏感元件的产生的弹性变形过程比较均匀，压电敏感元件在产生弹性变形后与目标晶圆接触，以消除所述目标晶圆上的静电，同时，由于压电敏感元件在产生弹性变形的过程比较均匀，压电敏感元件在与目标晶圆接触时，不会冲击晶圆的表面，从而防止压电敏感元件对晶圆的表面造成损伤。
本实用新型晶圆静电消除装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆静电消除装置，其特征在于，包括：压电敏感元件，所述压电敏感元件根据施加于其上的电压产生弹性变形，并在产生弹性变形后与目标晶圆接触以消除所述目标晶圆上的静电；电压控制模块，与所述压电敏感元件电连接，用于控制施加于所述压电敏感元件上的所述电压；电荷检测模块，与所述电压控制模块电连接，用于检测所述目标晶圆上的静电电荷，并在所述目标晶圆上的静电电荷被消除后控制所述电压控制模块断开施加于所述压电敏感元件上的所述电压。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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