江苏威森美微电子有限公司叶林旺获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏威森美微电子有限公司申请的专利一种研磨工序的晶圆片厚度的测试装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222926181U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421800764.4，技术领域涉及：G01B17/02；该实用新型一种研磨工序的晶圆片厚度的测试装置是由叶林旺;柳天勇设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨工序的晶圆片厚度的测试装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种研磨工序的晶圆片厚度的测试装置，包括支撑板，所述支撑板的顶部固定设置有支撑架，所述支撑架的顶部设置有伸缩组件，所述支撑架通过伸缩组件设置有安装板，所述安装板的底部固定设置有电动推杆，所述电动推杆的伸长端固定设置有超声波检测机构，所述安装板的后侧固定设置有连接板，所述连接板内部固定设置有喷嘴，所述支撑板的顶部固定设置有固定架，所述固定架通过前后移动组件设置有第一移动架，所述第一移动架通过左右移动组件设置有第二移动架，该装置在晶圆片研磨后立刻对其进行厚度检测，在遇到厚度不达标的晶圆片时可以立刻进行二次研磨，提高了装置的实用性以及晶圆片的加工速度。
本实用新型一种研磨工序的晶圆片厚度的测试装置在权利要求书中公布了：1.一种研磨工序的晶圆片厚度的测试装置，包括支撑板1，其特征在于，所述支撑板1的顶部固定设置有支撑架2，所述支撑架2的顶部设置有伸缩组件，所述支撑架2通过伸缩组件设置有安装板5，所述安装板5的底部固定设置有研磨机构8，所述安装板5的底部固定设置有电动推杆9，所述电动推杆9的伸长端固定设置有超声波检测机构10，所述安装板5的后侧固定设置有连接板6，所述连接板6内部固定设置有喷嘴7，所述支撑板1的顶部固定设置有固定架11，所述固定架11的内部设置有前后移动组件，所述固定架11通过前后移动组件设置有第一移动架14，所述第一移动架14的内部设置有左右移动组件，所述第一移动架14通过左右移动组件设置有第二移动架17，所述第二移动架17的顶部设置有固定组件。
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