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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利清洁管路结构、真空腔室及设备机台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222927414U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421814251.9，技术领域涉及：H01J37/26；该实用新型清洁管路结构、真空腔室及设备机台是由马钰辰设计研发完成，并于2024-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本清洁管路结构、真空腔室及设备机台在说明书摘要公布了：本实用新型提供清洁管路结构、真空腔室及设备机台，供水管道的第一输出口、中间管道的第一接口、压缩空气接入管道的第三输出口、腔室冷却管道的第三接口通过第一四通阀门相互连通；排水管道的第二输入口、中间管道的第二接口、压缩空气排出管道的第四输入口、腔室冷却管道的第四接口通过第二四通阀门相互连通。本实用新型将压缩空气接入管道、压缩空气排出管道与供水管道、排水管道、中间管道、腔室冷却管道连接并设置阀门，控制阀门切换冷却和清洁功能，无需拆装接入压缩空气的管道，使用效率提高，降低管道阻塞可能性；同时管路结构无需频繁拆装，用一体成型的固定管路结构，使管路结构可靠性强、寿命长，减少安全隐患，降低产品维护成本。

本实用新型清洁管路结构、真空腔室及设备机台在权利要求书中公布了：1.一种清洁管路结构，其特征在于，所述清洁管路结构包括：供水管道、排水管道、中间管道、压缩空气接入管道、压缩空气排出管道、腔室冷却管道、第一四通阀门和第二四通阀门，所述供水管道、所述腔室冷却管道和所述排水管道用于接入冷却介质以冷却所述腔室冷却管道所在的待冷却腔室；所述供水管道包括第一输入口和第一输出口，所述中间管道包括第一接口和第二接口，所述排水管道包括第二输入口和第二输出口，所述压缩空气接入管道包括第三输入口和第三输出口，所述压缩空气排出管道包括第四输入口和第四输出口，所述腔室冷却管道包括第三接口和第四接口，所述第一四通阀门包括第一阀门口、第二阀门口、第三阀门口和第四阀门口，所述第二四通阀门包括第五阀门口、第六阀门口、第七阀门口和第八阀门口；所述供水管道的第一输出口、所述中间管道的第一接口、所述压缩空气接入管道的第三输出口、所述腔室冷却管道的第三接口之间通过所述第一四通阀门的第一阀门口、第二阀门口、第三阀门口、第四阀门口相互连通；所述排水管道的第二输入口、所述中间管道的第二接口、所述压缩空气排出管道的第四输入口、所述腔室冷却管道的第四接口之间通过所述第二四通阀门的第五阀门口、第六阀门口、第七阀门口、第八阀门口相互连通。

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