江苏艾匹克半导体设备有限公司沈恒文获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏艾匹克半导体设备有限公司申请的专利一种碳化硅外延设备反应腔压力稳定控制结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222923324U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421748196.8，技术领域涉及：C30B25/16；该实用新型一种碳化硅外延设备反应腔压力稳定控制结构是由沈恒文;程宣林;吉双平;王伟康;陈吕;李友鹏;杨乾顺;李智设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅外延设备反应腔压力稳定控制结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种碳化硅外延设备反应腔压力稳定控制结构，包括换热盒和水箱，换热盒的内腔设置有换热管，水箱的顶部的中间设置有监测报警机构，监测报警机构包括控制器和前后两个流量传感器，控制器和流量传感器均固定于水箱的顶部，控制器的顶部设置有报警器，流量传感器及报警器与均通过导线与控制器电性连接，水箱顶部的背面设置有抽水机构。该装置在使用时，打开水泵，其可将水箱冷却水依次经抽水管、出水管和进水管抽入内管内，冷却水可通过内管的底部与换热盒1产生热交换，吸收换热盒的热量，以对其进行冷却，换热盒在使用时放置于碳化硅外延设备反应腔内，换热盒冷却后可对设备内空气进行冷却，以控制其内气压平稳。
本实用新型一种碳化硅外延设备反应腔压力稳定控制结构在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅外延设备反应腔压力稳定控制结构，包括换热盒1和水箱2，其特征在于：所述换热盒1为中空状态，所述换热盒1的内腔设置有换热管3，所述水箱2的顶部的中间设置有监测报警机构4，所述水箱2顶部的背面设置有抽水机构5。
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