无锡冠亚恒温制冷技术有限公司顾海山获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡冠亚恒温制冷技术有限公司申请的专利一种晶圆加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222927432U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421748098.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆加热装置是由顾海山;沈清华设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆加热装置，包括：传热组件，包括第一传热件，所述第一传热件的一侧用于用于放置晶圆；云母加热器，设于所述第一传热件的另一侧；连接组件，连接所述云母加热器和所述传热组件；支撑组件，用于设置所述传热组件和所述云母加热器。本实用新型实施例通过采用云母加热器，云母加热器加热数值易于调控，使用方便，制备过程简单，有利于后期维护。
本实用新型一种晶圆加热装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热装置，其特征在于，包括：传热组件（1），包括第一传热件（11），所述第一传热件（11）的一侧用于放置晶圆；云母加热器（2），设于所述第一传热件（11）的另一侧；连接组件（3），连接所述云母加热器（2）和所述传热组件（1）；支撑组件（4），用于设置所述传热组件（1）和所述云母加热器（2）。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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