长三角物理研究中心有限公司;中国科学院物理研究所单旭获国家专利权
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龙图腾网获悉长三角物理研究中心有限公司;中国科学院物理研究所申请的专利一种射频等离子体增强化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222923233U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421632676.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种射频等离子体增强化学气相沉积设备是由单旭;曹乘榕;杨剑;史纪设计研发完成，并于2024-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种射频等离子体增强化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种射频等离子体增强化学气相沉积设备，具体涉及医用丝材表面处理技术领域。针对反应气体在反应腔体内分布不均匀、温度控制系统大多难以在整个反应腔体内保持均匀的温度分布、设备的反应气体利用率较低等问题，本实用新型提供了一种射频等离子体增强化学气相沉积设备，包括用于容纳和处理反应气体的反应腔体和设置在其上部的射频电源，反应腔体两相对外侧上部分别连接有进气系统和抽气系统，反应腔体的前端、中端和后端设置有滑动系统，医用丝材贯穿反应腔体并穿过滑动系统。该设备结构简单，操作方便，能够保障医用丝材成膜质量和效率。
本实用新型一种射频等离子体增强化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种射频等离子体增强化学气相沉积设备，包括用于容纳和处理反应气体的反应腔体（1）和设置在其上部的射频电源（2），其特征在于：反应腔体（1）两相对外侧上部分别连接有进气系统（3）和抽气系统（4），反应腔体（1）的前端、中端和后端设置有滑动系统（5），医用丝材（7）贯穿反应腔体（1）并延伸至滑动系统（5）。
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