郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种硅晶圆研磨浆料防护装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222918580U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421618714.4,技术领域涉及:B01F35/00;该实用新型一种硅晶圆研磨浆料防护装置是由吴泓明;钟佑生;黄郁璿;景中正;孙楠;张旭鹏;张辉设计研发完成,并于2024-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅晶圆研磨浆料防护装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种硅晶圆研磨浆料防护装置,包括上部开口的矩形防护装置本体;所述防护装置本体的其中两个相对侧面、以及底面设有镂空区,所述镂空区可拆卸地安装有过滤网。本申请的使用在很大程度上提升了硅晶圆的研磨加工良率及品质。因此,本申请所提供的研磨配料设备防护装置在晶圆加工制造,尤其是在晶圆研磨工艺中具有较好的实用价值和技术改进意义。
本实用新型一种硅晶圆研磨浆料防护装置在权利要求书中公布了:1.一种硅晶圆研磨浆料防护装置,其特征在于,包括上部开口的矩形防护装置本体;所述防护装置本体的其中两个相对侧面、以及底面设有镂空区,所述镂空区可拆卸地安装有过滤网。
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