厦门吉顺芯微电子有限公司车陆获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门吉顺芯微电子有限公司申请的专利一种新型结构腐蚀机的HF化剂槽获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222927428U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421590565.5,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种新型结构腐蚀机的HF化剂槽是由车陆设计研发完成,并于2024-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型结构腐蚀机的HF化剂槽在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种新型结构腐蚀机的HF化剂槽,属于腐蚀机技术领域,包括腐蚀机的机体,所述机体上开设有试剂槽,所述试剂槽中固定设置有安装板,所述安装板在所述试剂槽中设置有两个,两个所述安装板分别设置在所述试剂槽的两侧,所述安装板上设置有限位板,所述限位板在所述安装板上设置有多个,所述试剂槽的底部固定设置有液压杆,所述液压杆固定连接有连接框,所述连接框在所述安装板的上方,所述连接框上固定设置有支撑板,所述支撑板在所述连接框上设置有多个,所述支撑板在两个所述安装板之间,本实用新型具有提高腐蚀机对硅片的腐蚀效果的优点。
本实用新型一种新型结构腐蚀机的HF化剂槽在权利要求书中公布了:1.一种新型结构腐蚀机的HF化剂槽,包括腐蚀机的机体7,其特征在于:所述机体7上开设有试剂槽8,所述试剂槽8中固定设置有安装板3,所述安装板3在所述试剂槽8中设置有两个,两个所述安装板3分别设置在所述试剂槽8的两侧,所述安装板3上设置有限位板2,所述限位板2在所述安装板3上设置有多个,所述试剂槽8的底部固定设置有液压杆5,所述液压杆5固定连接有连接框4,所述连接框4在所述安装板3的上方,所述连接框4上固定设置有支撑板6,所述支撑板6在所述连接框4上设置有多个,所述支撑板6在两个所述安装板3之间。
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