北京华卓精科科技股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种激光压合装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222927429U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421605275.3,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种激光压合装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光压合装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种激光压合装置,涉及激光热压键合领域。该装置中,调压组件包括波纹管,波纹管的上端设有上法兰盘并封有上石英板,下端设有下法兰盘并封有下石英板;上法兰盘和下法兰盘中的一者设有进气嘴并开设有进气道,另一者设有排气嘴并开设有出气道;传动轴为中空结构,与调压组件的下端同轴固定连接;测量组件的位移传感器用于测量波纹管在气压变化时的伸缩量,力传感器固定安装于传动轴的下端,用于测量键合压力。该装置,波纹管构成长度可变的柔性伸缩装置,根据位移传感器和力传感器反馈的数据,调节进气嘴和排气嘴的开、闭,可实现封闭腔内的气压调节,也即调压组件的刚度调节,进而能够实现对键合压力的精密调控,实现精密出力。
本实用新型一种激光压合装置在权利要求书中公布了:1.一种激光压合装置,其特征在于,能够安装于激光器的出光轴下方;所述激光压合装置包括:调压组件100,包括波纹管110,所述波纹管110的上端设置有上法兰盘111并封设有上石英板120,下端设置有下法兰盘112并封设有下石英板130;所述上法兰盘111和所述下法兰盘112中的一者设置有进气嘴140并开设有进气道,所述进气道连通所述进气嘴140和所述波纹管110内的封闭腔,另一者设置有排气嘴150并开设有出气道,所述出气道连通所述排气嘴150和所述封闭腔;传动轴200,所述传动轴200为中空结构,与所述调压组件100的下端同轴固定连接;测量组件,包括位移传感器310和力传感器340,所述位移传感器310用于测量所述波纹管110在气压变化时的伸缩量;所述力传感器340固定安装于所述传动轴200的下端,用于测量键合压力。
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