买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉无锡先为科技有限公司申请的专利晶圆承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222927467U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421565248.8，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆承载装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆承载装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆承载装置，包括：真空腔体；固定设置于真空腔体内支撑件；围绕所述支撑件设置的用于承载晶圆的承载组件；位于真空腔体顶部的传感器；具有一容置槽的机械手组件，及至少一个预设的所述容置槽的到达位置，机械手组件能够根据传感器识别的所述晶圆或所述晶圆托盘与所述容置槽的相对位置，并调整所述容置槽的所述到达位置；连接所述真空腔体与所述承载组件的密封组件；驱动装置，其位于所述真空腔体外并与所述承载组件位于所述真空腔体外侧的部分连接，所述承载组件在所述驱动装置的带动下能够相对于所述真空腔体进行旋转运动或升降运动。本实用新型的晶圆承载装置在合片过程可在真空中进行，合片过程平稳且精度高。

本实用新型晶圆承载装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括：真空腔体10；支撑件20，其位于所述真空腔体10内并相对于所述真空腔体10固定设置；承载组件30，其围绕所述支撑件20设置并至少部分设置于所述真空腔体10内，用于承载晶圆40或晶圆托盘50；传感器60，位于所述真空腔体10的内部，用于识别所述晶圆40或所述晶圆托盘50的位置或姿态信息；机械手组件，包括用于搬运所述晶圆40或所述晶圆托盘50的容置槽及至少一个预设的所述容置槽的到达位置，所述机械手组件与所述传感器60通讯连接，所述机械手组件能够根据传感器60识别的所述晶圆40或所述晶圆托盘50与所述容置槽的相对位置，调整所述容置槽的所述到达位置；密封组件，其连接所述真空腔体10与所述承载组件30，以保持承载组件30与所述真空腔体10之间的密封性；驱动装置70，其位于所述真空腔体10外并与所述承载组件30位于所述真空腔体10外侧的部分连接，所述承载组件30在所述驱动装置70的带动下能够相对于所述真空腔体10进行旋转运动和或升降运动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡先为科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区新梅路58号A2栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。