潍坊明哲智能科技有限公司刘煜昆获国家专利权
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龙图腾网获悉潍坊明哲智能科技有限公司申请的专利一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222925859U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421522498.3，技术领域涉及：F26B5/12；该实用新型一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置是由刘煜昆;郭明灿设计研发完成，并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置，涉及烘干装置技术领域，包括储存箱，储存箱的底端紧固连接有多组承重轴，储存箱的顶端紧固连接有加工箱，储存箱的内部底端紧固连接有两组限位板，通过设置的储存箱、清洗板、伸缩轴和电机配合下，将半导体晶圆卡合在清洗板的顶端，在使用电机可以带动伸缩轴进行升降作业，在伸缩轴升降的过程中，可以同步带动清洗板和半导体晶圆进行升降，当半导体晶圆和清洗板升降到预设的位置时，半导体晶圆可以完全浸泡在储存箱内部所储存的清洗液中，不需要施工人员手动对半导体晶圆进行调整，避免了在调整半导体晶圆的过程中，对半导体晶圆造成污染。
本实用新型一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体晶圆清洗的烘干装置，其特征在于：包括储存箱（1），所述储存箱（1）的底端紧固连接有多组承重轴（2），所述储存箱（1）的顶端紧固连接有加工箱（3），所述储存箱（1）的内部底端紧固连接有两组限位板（8），两组所述限位板（8）的中间一侧滑动连接有移动块（10），所述移动块（10）的一侧表面固定连接有连接板（20），所述连接板（20）的一端固定连接有清洗板（11），所述储存箱（1）的底端中间穿插连接有伸缩轴（12），所述伸缩轴（12）和储存箱（1）的交接处设置有橡胶密封圈（13），其中一组所述限位板（8）的一侧顶端设置有定时装置（9）。
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