无锡奥特维科技股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡奥特维科技股份有限公司申请的专利一种硅片上料机构及硅片上料装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222927448U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421530079.4,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种硅片上料机构及硅片上料装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片上料机构及硅片上料装置在说明书摘要公布了:本申请提供了一种硅片上料机构及硅片上料装置,包括安装支架、输送带、抽气组件及吸盘组件。输送带设置在安装支架上,输送带上设有吸附孔。安装支架上设有抽气组件和吸盘组件,抽气组件和吸盘组件对应输送带的吸附位置设置,抽气组件对输送带的位于吸附位置的吸附孔抽气。吸盘组件的吸附力大于输送带的吸附力。吸盘组件向上吸取料盒中的被顶升至预定高度处的硅片,使得硅片贴靠至输送带的下侧输送面的吸附位置处,位于吸附位置的吸附孔吸住硅片。输送带将吸附的硅片沿着输送带的输送方向输送。采用本申请的硅片取料机构从料盒中取出硅片,料盒中的待吸取硅片无需被顶升至限位柱的导向斜面处即可被吸取至输送带,可防止硅片被吸取时,位于下方的硅片被带出料盒。
本实用新型一种硅片上料机构及硅片上料装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片上料机构,其特征在于,所述硅片上料机构包括安装支架、至少两条输送带、抽气组件及吸盘组件,其中:至少两条输送带平行设置在所述安装支架上,所述输送带上设置有多个吸附孔,各所述输送带的下侧输送面处于同一平面上;所述安装支架上设置有至少一个所述抽气组件和至少一个所述吸盘组件,所述抽气组件和所述吸盘组件均对应所述输送带的吸附位置设置,所述抽气组件对所述输送带的位于吸附位置处的吸附孔抽气,以使得位于所述吸附位置的吸附孔产生吸附力;所述吸盘组件的吸附面高于所述输送带的下侧输送面,所述吸盘组件的吸附力大于所述输送带的下侧输送面处的吸附力;所述吸盘组件被配置为向上吸取料盒中最顶层的被顶升至预定高度处的硅片,使得所述硅片被向上吸出料盒后贴靠至所述输送带的下侧输送面的所述吸附位置处,位于所述吸附位置的吸附孔吸附住所述硅片;所述输送带被配置为将吸附的硅片沿着所述输送带的输送方向输送。
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