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龙图腾网获悉迈为技术(珠海)有限公司申请的专利吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222927461U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421489550.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型吸附装置是由陈超;马林;李云起设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种吸附装置，属于晶圆加工设备的技术领域，吸附装置包括支撑座、第一载座，以及第二载座。第一载座安装有陶瓷件；陶瓷件具有多个间隔布设的第一吸料孔。第二载座间隔布设有多个吸盘；各吸盘均具有第二吸料孔，支撑座开设有第一抽气通道和第二抽气通道；第一载座开设有与陶瓷件的各第一吸料孔连通的第一连通通道，第二载座开设有与各吸盘的第二吸料孔连通的第二连通通道，第一载座安装于支撑座时，第二抽气通道用于形成负压以吸附第一载座且第一抽气通道与第一连通通道连通；第二载座安装于支撑座时，第二抽气通道用于形成负压以吸附第二载座且第一抽气通道与第二连通通道连通。本实用新型的吸附装置泛用性强，可对不同类型晶圆进行吸附。

本实用新型吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种吸附装置，其特征在于，包括：支撑座11；第一载座12，用于安装于所述支撑座11；所述第一载座12安装有陶瓷件14；所述陶瓷件14具有多个间隔布设的第一吸料孔；以及第二载座13，用于安装于所述支撑座11；所述第二载座13间隔布设有多个吸盘15；各所述吸盘15均具有第二吸料孔；所述支撑座11开设有第一抽气通道110和第二抽气通道111；所述第一载座12开设有与所述陶瓷件14的各所述第一吸料孔连通的第一连通通道120，所述第二载座13开设有与各所述吸盘15的第二吸料孔连通的第二连通通道130；所述第一载座12安装于所述支撑座11时，所述第二抽气通道111用于形成负压以吸附所述第一载座12且所述第一抽气通道110与所述第一连通通道120连通；所述第二载座13安装于所述支撑座11时，所述第二抽气通道111用于形成负压以吸附所述第二载座13且所述第一抽气通道110与所述第二连通通道130连通。

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