无锡亘芯悦科技有限公司黄俊芃获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡亘芯悦科技有限公司申请的专利一种防碰撞的搬运机械臂获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222932812U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422028933.3,技术领域涉及:B25J18/00;该实用新型一种防碰撞的搬运机械臂是由黄俊芃;张志峰;骆青松设计研发完成,并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防碰撞的搬运机械臂在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种防碰撞的搬运机械臂,属于半导体检测、量测技术领域。本实用新型通过设置阻尼轴连接第一关节和第二关节以构建遇碰撞时可向上翻折的晶圆搬运机械臂结构,不仅配置了拉伸弹簧、滑轮、减震材料作为缓冲部件减小晶圆的震荡,而且还对翻转轴进行了阻尼优化并设置了限位挡块确保平稳、安全地在指定行程内翻转;另外,还对承接固定晶圆的钳形结构设置了边缘改进的晶圆限位槽,防止晶圆脱落的同时还能够避免取放晶圆时碰撞。
本实用新型一种防碰撞的搬运机械臂在权利要求书中公布了:1.一种防碰撞的搬运机械臂,安装于半导体前端量测设备,其特征在于,所述搬运机械臂包括:第一关节,所述第一关节下方具有安装槽,所述安装槽内固定有拉伸弹簧、第一滑轮;第二关节,所述第二关节具有允许固定晶圆的钳形结构,所述第二关节下方连接有第二滑轮和绕线环;以及阻尼轴,连接所述第一关节和所述第二关节;其中,所述拉伸弹簧通过绕线依次通过第一滑轮、第二滑轮连接所述绕线环。
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