上海思长约光学仪器有限公司姜红波获国家专利权
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龙图腾网获悉上海思长约光学仪器有限公司申请的专利一种晶圆套刻检查机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939877U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422004151.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆套刻检查机是由姜红波设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆套刻检查机在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆生产领域，具体涉及一种晶圆套刻检查机，解决了专利中的晶圆检查机，不方便对晶圆进行定位，不方便调节晶圆检查的面，降低对晶圆检查效率的问题，包括底板，所述底板的上表面固定连接有固定架，所述固定架的内部安装有检查机主体，所述底板的上表面开设有凹槽，所述凹槽的内部安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有托板，所述托板的上表面固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定连接有相对称的限位板，两个所述限位板相互靠近的一侧面均开设有通孔，两个所述限位板相互远离的一侧面均安装有电动推杆，两个所述电动推杆的输出端均固定连接有定位座，两个所述定位座相互靠近的一侧面均安装有正反电机。
本实用新型一种晶圆套刻检查机在权利要求书中公布了：1.一种晶圆套刻检查机，包括底板1，其特征在于：所述底板1的上表面固定连接有固定架2，所述固定架2的内部安装有检查机主体3，所述底板1的上表面开设有凹槽4，所述凹槽4的内部安装有驱动电机5，所述驱动电机5的输出端固定连接有托板6，所述托板6的上表面固定连接有支撑板7，所述支撑板7的上表面固定连接有相对称的限位板8，两个所述限位板8相互靠近的一侧面均开设有通孔9，两个所述限位板8相互远离的一侧面均安装有电动推杆10，两个所述电动推杆10的输出端均固定连接有定位座11，两个所述定位座11相互靠近的一侧面均安装有正反电机12，两个所述正反电机12的输出端均固定连接有定位板13。
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