上海通嘉宏盛半导体设备有限公司刘国莉获国家专利权
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龙图腾网获悉上海通嘉宏盛半导体设备有限公司申请的专利反应腔温度控制系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939878U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422015807.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型反应腔温度控制系统是由刘国莉;汪鹏;季慧;费纲刚;谢龙飞设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本反应腔温度控制系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种反应腔温度控制系统，包括反应腔、开关单元、冷却单元、温度传感器和控制器；所述反应腔具有第一入口、第二入口、第三入口和气体排出口；所述气体排出口用于排出反应腔内化学反应后的气体至真空泵中；所述温度传感器设置于所述反应腔的外侧壁，用于测量所述反应腔的温度；所述冷却单元设置于所述第二入口处，以控制通过所述第二入口进入反应腔的等离子体的温度；所述开关单元设置于所述第三入口处，以控制所述第三入口的打开或关闭；所述开关单元、所述冷却单元、所述温度传感器分别与所述控制器电连接。本实用新型的一个技术效果在于，设计合理，能够保证反应腔内气体的化学反应速率。
本实用新型反应腔温度控制系统在权利要求书中公布了：1.一种反应腔温度控制系统，其特征在于，包括：反应腔，所述反应腔具有第一入口、第二入口、第三入口和气体排出口；所述第一入口用于向所述反应腔内通入客户端气体，所述第二入口用于向所述反应腔内通入等离子体，所述第三入口用于向所述反应腔内通入反应气体，所述气体排出口用于排出反应腔内化学反应后的气体至真空泵中；开关单元、冷却单元和温度传感器，所述温度传感器设置于所述反应腔的外侧壁，用于测量所述反应腔的温度；所述冷却单元设置于所述第二入口处，以控制通过所述第二入口进入反应腔的等离子体的温度；所述开关单元设置于所述第三入口处，以控制所述第三入口的打开或关闭；控制器，所述开关单元、所述冷却单元、所述温度传感器分别与所述控制器电连接，所述控制器用于根据所述温度传感器采集的温度控制所述开关单元和所述冷却单元，以使得所述反应腔的温度在预设范围内。
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