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龙图腾网获悉杭州晶驰机电科技有限公司申请的专利一种新型多腔室金刚石生长及掺杂设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222935512U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421990981.4，技术领域涉及：C23C16/54；该实用新型一种新型多腔室金刚石生长及掺杂设备是由郭森;赵聪;万志炳设计研发完成，并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型多腔室金刚石生长及掺杂设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种新型多腔室金刚石生长及掺杂设备，它属于金刚石设备领域。本实用新型包括中转腔、本征反应腔、N型掺杂腔、P型掺杂腔、进料腔和高真空门阀和自动控制系统，中转腔与本征反应腔、N型掺杂腔、P型掺杂腔、进料腔之间采用门阀连接，实现不同腔室之间的真空隔离与真空互联；本征反应腔、N型掺杂腔、P型掺杂腔和进料腔均与自动控制系统连接；中转腔内部安装机械臂；机械臂末端安装用于取样送样的机械爪，实现不同腔室之间材料的转移。本实用新型结构设计合理，安全可靠，采用多个反应腔体加上中间转移腔体的方式，在实现金刚石材料同质及异质结构生长的同时，实现材料在不暴露在大气环境下的转移，满足使用需求。

本实用新型一种新型多腔室金刚石生长及掺杂设备在权利要求书中公布了：1.一种新型多腔室金刚石生长及掺杂设备，包括自动控制系统（7），其特征在于：还包括中转腔（1）、本征反应腔（2）、N型掺杂腔（3）、P型掺杂腔（4）、进料腔（5）和高真空门阀（6），所述中转腔（1）与本征反应腔（2）、N型掺杂腔（3）、P型掺杂腔（4）、进料腔（5）之间采用门阀连接，实现不同腔室之间的真空隔离与真空互联；本征反应腔（2）、N型掺杂腔（3）、P型掺杂腔（4）和进料腔（5）均与自动控制系统（7）连接；中转腔（1）包括观察窗（11）、腔盖支架（12）、腔盖（13）、机械臂（14）和机械爪（15），该中转腔（1）的六个侧面中，有五个侧面开有通孔，其中四个侧面均连接高真空门阀（6），四个高真空门阀（6）分别连接本征反应腔（2）、N型掺杂腔（3）、P型掺杂腔（4）和进料腔（5），第五个侧面通过高真空门阀（6）连接观察窗（11），第六个侧面安装腔盖支架（12），腔盖支架（12）固定在六边形中转腔（1）侧面，另一端连接腔盖（13）；中转腔（1）内部安装机械臂（14）；机械臂（14）末端安装用于取样送样的机械爪（15），实现不同腔室之间材料的转移。

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