杭州晶驰机电科技有限公司郭森获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州晶驰机电科技有限公司申请的专利碳化硅衬底装载腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222935577U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421991019.2，技术领域涉及：C30B25/02；该实用新型碳化硅衬底装载腔是由郭森;边晨设计研发完成，并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅衬底装载腔在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种碳化硅衬底装载腔，它用于碳化硅外延炉中，它属于碳化硅外延领域。本实用新型包括主腔室、转角气缸、舱盖组件、石英顶针、石英块、升降托盘、载盘升降组件、载盘定位组件、载盘组件和中心托盘，主腔室顶部与舱盖组件相连，主腔室的三个侧面分别安装有一个载盘定位组件，主腔室内部底面安装有三个石英顶针，用于支撑载盘组件；主腔室的两侧分别安装有一个转角气缸，用于压紧舱盖组件；升降托盘上装有三个石英块，用于顶托载盘组件的中心托盘；主腔室的底面安装有一个载盘升降组件。本实用新型实现了碳化硅衬底在载盘上的自动化放置和载盘的自动化定位，提升了碳化硅外延设备的自动化水平，提高了设备安全性，满足使用需求。
本实用新型碳化硅衬底装载腔在权利要求书中公布了：1.碳化硅衬底装载腔，包括主腔室（1）、转角气缸（9）、舱盖组件（10）、石英顶针（17）、石英块（18）和升降托盘（19），所述主腔室（1）与舱盖组件（10）相连，其特征在于：还包括载盘升降组件（2）、载盘定位组件（4）、载盘组件（14）和中心托盘（15），所述主腔室（1）的底面安装有一个载盘升降组件（2），主腔室（1）的三个侧面分别安装有一个载盘定位组件（4），主腔室（1）内部底面安装有三个石英顶针（17），用于支撑载盘组件（14）；主腔室（1）的两侧分别安装有一个转角气缸（9），用于压紧舱盖组件（10）；升降托盘（19）上装有三个石英块（18），用于顶托载盘组件（14）的中心托盘（15）。
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