南京屹立芯创半导体科技有限公司张景南获国家专利权
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龙图腾网获悉南京屹立芯创半导体科技有限公司申请的专利一种芯片真空压膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222939873U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421980637.7,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种芯片真空压膜装置是由张景南;陈明展设计研发完成,并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片真空压膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种芯片真空压膜装置,包括滑动台部,滑动台部包括基板和设置在基板上端面的滑动驱动件,滑动驱动件上设有用于压膜的负压下槽块件,基板的两端设有用于对负压下槽块件进行定位的限位件;压台部,压台部包括设置在基板上端面后端的支撑台和设置在支撑台上的上压槽件;优点:通过机械压膜,贴合紧密,提高了密封性,更加利于进行抽真空,且用于放置芯片的下槽块能够进行前后移动,能够从压台部的下方移出,方便将压膜完成后的芯片从下槽块上取出。
本实用新型一种芯片真空压膜装置在权利要求书中公布了:1.一种芯片真空压膜装置,其特征在于:包括滑动台部(100),滑动台部(100)包括基板(110)和设置在基板(110)上端面的滑动驱动件(120),滑动驱动件(120)上设有用于压膜的负压下槽块件(130),基板(110)的两端设有用于对负压下槽块件(130)进行定位的限位件(140);压台部(200),压台部(200)包括设置在基板(110)上端面后端的支撑台(210)和设置在支撑台(210)上的上压槽件(220)。
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