内蒙古大全半导体有限公司魏富增获国家专利权
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龙图腾网获悉内蒙古大全半导体有限公司申请的专利一种从多晶硅尾气提纯电子级氯硅烷的系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222930553U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421932070.6，技术领域涉及：B01D53/00；该实用新型一种从多晶硅尾气提纯电子级氯硅烷的系统是由魏富增;陈远新;于跃;杨亮;王少帅;王西玉设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种从多晶硅尾气提纯电子级氯硅烷的系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种从多晶硅尾气提纯电子级氯硅烷的系统，系统包括氯硅烷原料罐、预热器、四氯化硅精馏装置、三氯氢硅精馏装置和二氯二氢硅精馏装置；方法包括：1四氯化硅精馏；2三氯氢硅精馏；3二氯二氢硅精馏。本实用新型的优点在于：本实用新型公开的系统，连接结构简单，实现对电子级多晶硅还原工序产生的尾气充分分离得到6N以上的电子级四氯化硅、电子级三氯氢硅和电子级二氯二氢硅等各类电子级氯硅烷产品，可适用分离不同含量的氯硅烷原料，设备投入少，投入成本降低，使用效率高，提高了企业的经济效益；本实用新型公开的方法流程简单，降低了生产成本，提升了生产效率。
本实用新型一种从多晶硅尾气提纯电子级氯硅烷的系统在权利要求书中公布了：1.一种从多晶硅尾气提纯电子级氯硅烷的系统，其特征在于，其包括氯硅烷原料罐、预热器、四氯化硅精馏装置、三氯氢硅精馏装置和二氯二氢硅精馏装置；所述氯硅烷原料罐的出液口与所述预热器的冷介质入口连通，所述预热器的冷介质出口与所述四氯化硅精馏装置的精馏塔中段入口连通，所述四氯化硅精馏装置的精馏塔塔釜出口与四氯化硅产品罐的进液口连通；所述四氯化硅精馏装置的回流罐出液口分别与所述四氯化硅精馏装置的精馏塔回流口和所述三氯氢硅精馏装置的精馏塔中段入口连通，所述三氯氢硅精馏装置的精馏塔塔釜出口与三氯氢硅产品罐的进液口连通；所述三氯氢硅精馏装置的回流罐出液口分别与所述三氯氢硅精馏装置的精馏塔回流口和所述二氯二氢硅精馏装置的精馏塔中段入口连通，所述二氯二氢硅精馏装置的回流罐出液口分别与所述二氯二氢硅精馏装置的精馏塔回流口和二氯二氢硅产品罐的进液口连通。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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