三和技研股份有限公司谢友涵获国家专利权
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龙图腾网获悉三和技研股份有限公司申请的专利具气压调节模块的基板处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939868U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421926077.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型具气压调节模块的基板处理设备是由谢友涵;邱俊桦设计研发完成，并于2024-08-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本具气压调节模块的基板处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种具气压调节模块的基板处理设备，包括设备框体与设置在设备框体内的气压调节模块。气压调节模块包括风扇滤网机组与调节组件。风扇滤网机组位于设备框体的顶部且提供气流从顶部吹向设备框体的底部。调节组件位于设备框体的底部。调节组件具有可控式气孔，连通设备框体的内部空间与外部环境，调节组件通过控制流经可控式气孔的气流流量，而调节内部空间的气压。本实用新型的具气压调节模块的基板处理设备，其能调节设备内部空间的气流，以确保设备内部空间的正压环境。
本实用新型具气压调节模块的基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种具气压调节模块的基板处理设备，其特征在于，包括：设备框体；气压调节模块，设置于所述设备框体内，所述气压调节模块包括：风扇滤网机组，位于所述设备框体的顶部且提供气流从所述顶部吹向所述设备框体的底部；以及调节组件，位于所述设备框体的所述底部，所述调节组件具有可控式气孔，连通所述设备框体的内部空间与外部环境，所述调节组件通过控制流经所述可控式气孔的所述气流的流量，而调节所述内部空间的气压。
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