江苏西米半导体有限公司朱春获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏西米半导体有限公司申请的专利多尺寸晶圆甩干机构及晶圆清洗系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939866U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421912963.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型多尺寸晶圆甩干机构及晶圆清洗系统是由朱春;林芳健设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本多尺寸晶圆甩干机构及晶圆清洗系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种多尺寸晶圆甩干机构及晶圆清洗系统，包括工作台及甩干组件、喷淋组件，甩干组件包括旋转电机、主轴、承载盘、支撑柱及挡柱，旋转电机通过主轴与承载盘相连，承载盘顶端设置有至少一组能够支撑晶圆底端面的支撑柱、以及至少一组能够对晶圆边缘限位的挡柱，挡柱对应设置于支撑柱一侧且高度高于支撑柱；喷淋组件包括摆杆气缸及喷淋头，摆杆气缸与喷淋头相连，喷淋头对应设置于承载盘上方。该多尺寸晶圆甩干机构及晶圆清洗系统能够针对多种尺寸或多种类型的晶圆进行清洗及甩干，实现一机多用，大大提高了清洗系统的适用范围，同时能够避免甩干时液体飞溅，保证设备周围环境。
本实用新型多尺寸晶圆甩干机构及晶圆清洗系统在权利要求书中公布了：1.一种多尺寸晶圆甩干机构，包括工作台及设置于工作台上的甩干组件、喷淋组件，其特征在于：所述甩干组件包括旋转电机、主轴、承载盘、支撑柱及挡柱，所述旋转电机通过主轴与承载盘相连，旋转电机能够驱动承载盘轴向转动，所述承载盘顶端设置有至少一组能够支撑晶圆底端面的支撑柱、以及至少一组能够对晶圆边缘限位的挡柱，所述挡柱对应设置于支撑柱一侧且高度高于支撑柱；所述喷淋组件包括摆杆气缸及喷淋头，所述摆杆气缸与喷淋头相连，所述喷淋头对应设置于承载盘上方，摆杆气缸能够驱动喷淋头摆动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏西米半导体有限公司，其通讯地址为：213000 江苏省常州市天宁区大明北路1738号中交智荟港产业园7#01；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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