三和技研股份有限公司蒋涵茵获国家专利权
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龙图腾网获悉三和技研股份有限公司申请的专利具校正模块的基板处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939867U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421916087.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型具校正模块的基板处理设备是由蒋涵茵;谢友涵设计研发完成，并于2024-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本具校正模块的基板处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种基板处理设备，包括设备框体、校正模块、方形基板校准器、晶圆校准器、搬运机器人以及控制模块。设备框体具有腔体室与多个载入端口。校正模块、方形基板校准器与晶圆校准器分别设置于设备框体内，其中校正模块适于容置至少一方形基板与至少一圆形基板。搬运机器人可移动地设置于设备框体内，且腔体室、载入端口、校正模块、方形基板校准器与晶圆校准器分别位于搬运机器人的动作路径上。控制模块电性连接搬运机器人、校正模块、方形基板校准器与晶圆校准器。本实用新型提供的具校正模块的基板处理设备，通过校正模块以分别对方形基板校准器与晶圆校准器进行系统内校正，以通过系统内校而提高基板处理设备的运作效率及准确程度。
本实用新型具校正模块的基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种具校正模块的基板处理设备，其特征在于，包括：设备框体，具有腔体室与多个载入端口；校正模块、方形基板校准器与晶圆校准器，分别设置于所述设备框体内，其中所述校正模块适于容置至少一方形基板与至少一圆形基板；搬运机器人，可移动地设置于所述设备框体内，且所述腔体室、所述多个载入端口、所述校正模块、所述方形基板校准器与所述晶圆校准器分别位于所述搬运机器人的动作路径上；以及控制模块，电性连接所述搬运机器人、所述校正模块、所述方形基板校准器与所述晶圆校准器。
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