深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司刘中流获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利半导体研磨液输送装置及半导体抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222932468U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421879293.0，技术领域涉及：B24B37/20；该实用新型半导体研磨液输送装置及半导体抛光设备是由刘中流;麻小龙;翟韬;李月;董双庆设计研发完成，并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体研磨液输送装置及半导体抛光设备在说明书摘要公布了：本公开涉及一种半导体研磨液输送装置及半导体抛光设备，其中，半导体研磨液输送装置包括旋转轴（1），其中心轴线沿高度方向（z）延伸；第一悬臂（10），沿所述旋转轴（1）的径向延伸，所述第一悬臂（10）绕所述中心轴线可旋转地连接于所述旋转轴（1），所述第一悬臂（10）远离所述旋转轴（1）的第一端设有第一研磨液喷嘴（11）；和第二悬臂（20），沿所述旋转轴（1）的径向延伸，绕所述中心轴线可旋转地连接于所述旋转轴（1），所述第二悬臂（20）远离所述旋转轴（1）的第二端设有第二研磨液喷嘴（22），所述第二悬臂（20）位于所述第一悬臂（10）上方，所述第一悬臂（10）和所述第二悬臂（20）可选择地交错设置。
本实用新型半导体研磨液输送装置及半导体抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体研磨液输送装置，其特征在于，包括：旋转轴（1），其中心轴线沿高度方向（z）延伸；第一悬臂（10），沿所述旋转轴（1）的径向延伸，所述第一悬臂（10）绕所述中心轴线可旋转地连接于所述旋转轴（1），所述第一悬臂（10）远离所述旋转轴（1）的第一端设有第一研磨液喷嘴（11）；和第二悬臂（20），沿所述旋转轴（1）的径向延伸，绕所述中心轴线可旋转地连接于所述旋转轴（1），所述第二悬臂（20）远离所述旋转轴（1）的第二端设有第二研磨液喷嘴（22），所述第二悬臂（20）位于所述第一悬臂（10）上方，所述第一悬臂（10）和所述第二悬臂（20）独立设置。
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