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龙图腾网获悉内蒙古大全半导体有限公司申请的专利一种硅烷液体充装系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222937620U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421880990.8，技术领域涉及：F17C6/00；该实用新型一种硅烷液体充装系统是由王少帅;于跃;魏富增;马英英;张泽玉设计研发完成，并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅烷液体充装系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种硅烷液体充装系统，其包括硅烷储罐、运输总管、回流管、灌装管和氮气置换管线，所述硅烷储罐的出液口与所述运输总管的进液端连通，所述运输总管的出液端分别与所述回流管和所述灌装管的进液端连通，所述回流管的出液端与所述硅烷储罐的进口连通，在所述运输总管上沿着硅烷流动方向依次设置有液体泵、调节阀、第一压力传感器和所述氮气置换管线，所述氮气置换管线的出气端与所述运输总管连通设置，在所述氮气置换管线上设置有气体阀门。优点在于：结构简单，实现自动化控制，提高充装效率，充装压力降低，降低了泄露的风险。

本实用新型一种硅烷液体充装系统在权利要求书中公布了：1.一种硅烷液体充装系统，其特征在于，其包括硅烷储罐、运输总管、回流管、灌装管和氮气置换管线；所述硅烷储罐的出液口与所述运输总管的进液端连通，所述运输总管的出液端分别与所述回流管和所述灌装管的进液端连通，所述回流管的出液端与所述硅烷储罐的进口连通，在所述运输总管上沿着硅烷流动方向依次设置有液体泵、调节阀、第一压力传感器和所述氮气置换管线，所述氮气置换管线的出气端与所述运输总管连通设置，在所述氮气置换管线上设置有气体阀门；在所述回流管上按照气流方向依次设置有第一切断阀、氮气纯度检测仪、气体排放管和第二切断阀，所述气体排放管的进气端与所述回流管连通设置，在所述气体排放管上设置有第一排放阀；在所述灌装管上依次设置有硅烷检测仪和充装阀门；所述第一压力传感器、所述氮气纯度检测仪和所述硅烷检测仪的信号输出端均与控制器的信号输入端通过信号连接，所述控制器的信号输出端分别与所述液体泵、所述调节阀、所述气体阀门、所述第一切断阀、所述第二切断阀、所述第一排放阀和所述充装阀门的信号输入端通过信号连接。

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