杭州积海半导体有限公司秦贵明获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州积海半导体有限公司申请的专利一种外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222935579U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421862646.6，技术领域涉及：C30B25/16；该实用新型一种外延设备是由秦贵明;杨维军;曹肖肖设计研发完成，并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种外延设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种外延设备，包括：主机体、基座、预热环和测距装置；主机体包括腔体，腔体相对两侧分别设置有进气口和排气口；基座设置于腔体内，并相对于腔体转动连接，自进气口进入的气体流经基座的上方后从排气口排出；预热环固定设置于腔体内，并环设于基座的外周；在预热环的周向方向上，预热环与基座的周缘之间存在径向间隙；测距装置安装于主机体，以测量径向间隙。本实用新型能够改善外延设备运行过程中观测基座与预热环之间是否存在摩擦而造成的停机时间较长，降低外延设备生产效率的技术问题。
本实用新型一种外延设备在权利要求书中公布了：1.一种外延设备，其特征在于，包括：主机体，所述主机体包括腔体，所述腔体相对两侧分别设置有进气口和排气口；基座，转动设置于所述腔体内，自所述进气口进入的气体流经所述基座的上方后从所述排气口排出；预热环，固定设置于所述腔体内，并环设于所述基座的外周；在所述预热环的周向方向上，所述预热环与所述基座的周缘之间存在径向间隙；测距装置，安装于所述主机体，以测量所述径向间隙。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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