睿励科学仪器(上海)有限公司熊林军获国家专利权
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龙图腾网获悉睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利一种晶圆承载装置及晶圆量测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222939884U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421870649.4，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种晶圆承载装置及晶圆量测设备是由熊林军;孙思华;王宝全设计研发完成，并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆承载装置及晶圆量测设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆承载装置，包括转接板、托盘、调距件和锁紧件。其中，转接板设置有一上表面。托盘安装在转接板上表面，托盘表面设置至少三个不在一条直线上的容纳孔，容纳孔贯穿托盘的上下表面，容纳孔内设置有内螺纹。每个容纳孔中设置一调距件，调距件的外壁设置外螺纹并与容纳孔的内螺纹形成螺纹配合，调距件下端顶在转接板上表面。锁紧件用于从上至下依次穿过托盘和转接板，以将托盘和转接板连接并锁定。本申请的技术方案结构较为简单、成本较低，能够较为精确简便地对晶圆托盘的水平度进行调节，确保将晶圆安全平稳地送入指定位置进行加工或测试。
本实用新型一种晶圆承载装置及晶圆量测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括：转接板2，设置有一上表面；托盘1，安装在所述转接板2上表面，所述托盘1表面设置至少三个不在一条直线上的容纳孔101，所述容纳孔101贯穿所述托盘1的上下表面，所述容纳孔101内设置有内螺纹；调距件3，在每个所述容纳孔101中设置一所述调距件3；所述调距件3的外壁设置有外螺纹并与所述容纳孔101的内螺纹形成螺纹配合，所述调距件3下端顶在所述转接板2上表面；锁紧件4，用于从上至下依次穿过所述托盘1和所述转接板2，以将所述托盘1和所述转接板2连接并锁定。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人睿励科学仪器(上海)有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区华佗路68号6幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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